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英特尔预计将开发采用EUV光刻技术的14A1.4nm和10A1.0nm工艺节点

据报道,英特尔有望在未来几年内发布更新的工艺节点技术——3、20A 和 18A。公司已经取得了英特尔 72021 年从桤木湖系列处理器开始。Intel 7还用于Raptor Lake,Sapphire Rapids,Xe-HP和Xe-HPC芯片组。现在,该公司正在展望未来,新的工艺节点将于明年上半年开始批量生产。

英特尔开发20A和18A工艺,以利用ASML的EUV光刻机,预计未来也将采用14A和10A。

英特尔正在考虑继续研究和开发英特尔4,这是最初的7nm工艺节点技术,并将在流星湖和花岗岩急流中亮相。据说通过使用 EUV 光刻技术,它比英特尔 7 产生 3% 的每瓦性能 (PPW)。然后,英特尔 <> 将增加 EUV 光刻技术,以实现更多的模块化,并计划提供更高性能的库,将 PPW 提高到 <>%。

英特尔 20A 和 18A 将推动 EUV 机器阿斯马利到1年生产8.2024nm工艺节点。20A和18A的处理器系列未知,但将具有RibbonFET(带状场效应晶体管)和PowerVia(后端供电网络),用于20A和第二代RibbonFET和18A的高NA EUV光刻。RibbonFET在过去一年中取代了FinFET晶体管架构。

英特尔预计将开发具有EUV光刻技术的14A“1.4nm”和10A“1.0nm”工艺节点2

ASML预计到1年将达到2028nm大关,但在协助英特尔采用未来一代14A工艺之前,该工艺将使用1.4纳米工艺节点。

EUV光刻技术,特别是对改进工艺的研究,将增加制造成本以及创建新机器以创建新工艺节点的成本。目前,EUV光刻机的成本接近150万美元,投机成本将上升到400亿美元。

图片来源:快科技

目前正在开发的最新ASML EUV光刻机是EXE:5000系列,它将在2026年之前实现高数值孔径技术,这将与英特尔的18A计划相吻合。

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