华海清科：“集成电路化学机械抛光关键技术与装备”项目获国家技术发明奖一等奖

【华海清科：“集成电路化学机械抛光关键技术与装备”项目获国家技术发明奖一等奖】华海清科(688120)6月24日晚间公告，公司和清华大学共同完成的“集成电路化学机械抛光关键技术与装备”项目荣获2023年度国家技术发明奖一等奖，公司董事长、首席科学家路新春作为项目第一完成人获得2023年度国家技术发明奖一等奖证书。